金刚石薄膜负偏压形核的边缘效应.pdfVIP

第17 卷 第2 期 高 压 物 理 学 报 Vol. 17 ，No. 2 2003 年6 月 CHINESE JOURNAL OF HIGH PRESSURE PHYSICS June ，2003 文章编号：1000-5773（2003 ）02-0145-05 金刚石薄膜负偏压形核的边缘效应! 1，2 2 2 1，2 1，2 1 王传新 ，汪建华 ，马志斌 ，满卫东 ，王升高 ，康志成 （1. 中国科学院等离子体物理研究所，安徽合肥 230031； 2 . 武汉化工学院微波等离子体化学与新材料重点实验室，湖北武汉 430073 ） 摘要：在微波等离子体化学气相沉积装置中，研究了金刚石薄膜在Si（100 ）面上的负偏压 形核行为，结果表明，偏压大小对金刚石的形核均匀性有显著影响，而甲烷浓度主要影响形核 时间，对金刚石的最大核密度影响不大。在硅片尺寸小于钼支撑