No电动势式传感器原理与应用.ppt

5.1.3 磁阻效应传感器 磁阻元件的工作原理是利用半导体材料的磁阻效应 或称高斯效应 。 实际运动中载流子速度是不完全相同的，因而，在洛伦兹力作用下使一些载流子往一边偏转，所以半导体片内电流分布是不均匀的，改变磁场的强弱就影响电流密度的分布，故表现为半导体片的电阻变化。 2.压电材料 明显呈现压电效应的敏感功能材料叫压电材料。 压电材料一般应考虑以下主要特性： 1 具有较大的压电常数。 2 压电元件的机械强度高、刚度大并具有较高的固有振动频率。 3 具有高的电阻率和较大的介电常数。 4 具有较高的居里点。居里点高可以得到较宽的工作温度范围。 5 压电特性不随时间蜕变，有较好的时间稳定性。 5.3.2 压电元件的等效电路及信号变换电路 5.3 压电式传感器 1.变换原理:压电效应 + 并联 + 串联 某些物质，如石英，受到外力作用时，不仅几何尺寸会发生变化，而且内部会被极化，表面产生电荷；当外力去掉时，又重新回到原来的状态，这种现象称为压电效应。 F + q DF 1 石英晶体 石英晶体有天然和人工培养两种类型。人工培养的石英晶体的物理+化学性质几乎与天然石英晶体无多大区别，因此目前广泛应用成本较低的人造石英晶体。它在几百摄氏度的温度范围内，压电、系数不随温度而变化。石英晶体的居里点为573℃，即到573℃时，它将完全丧失压电性质。它有很大的机械强度和稳定的机械性能，没有热释电效应，但灵敏度很低，介电常数小，因此逐渐被其他压电材料所代替。 纵轴z-z称作光轴，通过六角棱线而垂直于光轴的轴线 x-x称作电轴，垂直于棱面的轴线y-y称作机械轴。如果从晶体中切下一个平行六面体，并使其晶面分别平行于z-z、y-y、x-x轴线，这个晶片在正常状态下不呈现电性。当施加外力时，将沿x-x方向形成电场，其电荷分布在垂直于x-x轴的平面上。沿x轴方向加力产生纵向压电效应，沿y轴加力产生横向压电效应，沿相对两平面加力产生切向压电效应。 石英 SiO2 晶体结晶形状为六角形晶柱。两端为一对称的棱锥，六棱柱是它的基本组织 石英的压电效应 这时正负离子正好分布在正六边形的顶角上，呈现电中性。如果沿X方向压缩，如图b所示，则硅离子1被挤入氧离子2和6之间，而氧离子4被挤入硅离子3和5之间，结果表面A上呈现负电荷，而在表面B上呈现正电荷。这一现象称为纵向压电效应。若沿Y方向压缩，如图c所示，硅离子3和氧离子2，以及硅离子5和氧离子6都向内移动同样的数值，故在电极C和D上不呈现电荷，而在表面A和B上，即在X轴的端面上又呈现电荷，但与图b的极性正好相反，这时称为横向压电效应。从研究的模型同样可以看出：如果是使其伸长而不是压缩时，则电荷的极性正好相反。总之，石英等单晶体材料是各向异性的物体，在X或Y轴向施力时，在与X轴垂直的面上产生电荷，电场方向与X轴平行，在Z轴方向施力时，不能产生压电效应。 石英的化学式为SiO2，在一个晶体单元中，有三个硅离子si4+和六个氧离子O2-，后者是成对的，所以一个硅离子和两个氧离子交替排列。当没有力作用时si4+和O2-在垂直于晶体Z轴的XY平面上的投影恰好等效为正六边形排列，如图a示。 2 水溶性压电晶体 这类压电晶体有酒石酸钾钠 NaKC4H4O64H20 、硫酸锂 Li2SO4H2O 、磷酸二氢钾 KH2PO4 等。水溶性压电晶体具有较高的压电灵敏度和介电常数，但易于受潮，机械强度也较低，只适用于室温和湿度低的环境下。 3 铌酸锂晶体 铌酸锂是一种透明单晶，熔点为1250℃，居里点为1210℃。它具有良好的压电性能和时间稳定性，在耐高温传感器上有广泛的前途。 4 压电陶瓷 这是一种应用最普遍的压电材料，压电陶瓷具有烧制方便、耐湿、耐高温、易于成形等特点。 1 钛酸钡压电陶瓷 钛酸钡 BaTiO3 是由BaCO3和TiO2二者在高温下合成的。具有较高的压电系数和介电常数。但它的居里点较低，为120℃，此外机械强度不如石英。 2 锆钛酸铅系压电陶瓷 PZT 锆钛酸铅是PbTiO3和PbZrO3组成的固溶体Pb Zr·Ti O2。它具有较高的压电系数和居里点 300℃以上 。 3 铌酸盐系压电陶瓷 钽铌酸铅具有很高的居里点和较低的介电常数。铌酸钾的居里点为435C，常用于水声传感器中。 4 铌镁酸铅压电陶瓷 PMN 这是一种由Pb MgNb O3、PbTiO3、PbZrO3组成的三元系陶瓷。它具有较高的压 电系数和居里点，能够在较高的压力下工作，适合作为高温下的力传感器。 5 压电半导体 有些晶体既具有半导体特性又同时具有压电性能，如ZnS、CaS、GaAs等。因此既可利用它的压电特性研制传感器，又可利用半导体特性以微电子技术制成电子器件。 6 高分子