一种用于压力传感器的温度控制系统设计.pdfVIP

零极点配置自校正温度控制的建模与仿真 基于 smith 的PID 温度控制 基于 MATLAB 的温控系统PID 控制器设计 基于智能 PID 整定的温度控制系统设计 模糊温度控制器的设计与 Matlab 仿真 智能 PID 控制及其在温控系统中的应用 O 引言 在微电子器件领域，针对 SiC 器件的研究较多，已经取得了较大进展，而在 MEMS 领域 针对 SiC 器件的研究仍有许多问题亟待解决。在国内，SiC MEMS 的研究非常少，因而进 行 SiC 高温 MEMS 压力传感器的研究具有开创意义。碳化硅(SiC)具有优良的耐高温，抗腐 蚀，抗辐射性能，因而使用 SiC 来制作压力传感器，能够克服 Si 器件高温下电学、机械、 化学性能下降的缺陷，稳定工作于高温环境，具有光明的应用前景。 然而当外界温度较大时，压力传感器受温度影响精度不高，会产生零点漂移等问题，从 而增大测量误差。于是尝试加工一个腔体，把压力传感器和温度传感器放置在里面形成一个 小的封闭腔体，在外界温度较高或较低的情况下，用加热装置先升温到几十度并维持这一温 度，给压力传感器做零点补偿，提高压力传感器的测量精度。这样就克服了在大温度范围难 以补偿的问题。本文对这个温度控制系统提出了解决方案，采用了 PID 参数自整定控制， 模