《ZnO薄膜对CIGS太阳电池性能的影响》.pdfVIP

维普资讯 第 25卷 第 4期 太 阳 能 学 报 Vo1．25．No．4 2004年 8月 ACTA ENERGIAE SOIARIS SINICA Aug．，2004 文章编号 ：0254—0096(2004)04-0419—07 ZnO薄膜对 CIGS太阳电池性能的影响 李 伟，何 青，敖建平，刘芳芳， 李凤岩，周志强，刘维一，孙 云 (南开大学信息学院光电子研究所 ，天津 300071) 摘 要 ：采用交流磁控溅射制备高阻ZnO和直流溅射 Zn0：Al薄膜 ，研究几种溅射工艺条件与ZnO薄膜性能关系 以及对铜铟镓硒 (CIGS)光伏电池的影响。通过不同的工艺参数改变控制 ，得到了性能优 良的ZnO薄膜 ，同时表 明电池窗口层 zn0薄膜工艺参数对铜铟硒电池性能影响至关重要。尤其是zn0薄膜的电阻率和迁移率，这两项指 标的优化可 以使电池