《4D principle--做动画演示参考》.ppt

Reference Surface Collimator Test Surface Beam Splitter Laser Stop Camera Double Polarizer Wollaston Prism QWP@45o Pixelated Mask Polarizations HWP 4.2.1 非共光路斐索型 FizCam1000s 4.2.1 非共光路斐索型FizCam1000s 续 缺点： 非共光路：球面测量时，会引入离轴误差；当测量相对孔径较大表面时，误差增大 镜头相对光轴倾斜：导致光线追迹误差，需要高质量的光学元件进行修正 最大的问题：光源的稳定性 因为需要大能量的光源，只能采用半导体激光器，而该类型的激光器的相干性对温度变化非常敏感 Reference Collimator Beam Splitter Stop QWP Camera Pixelated Mask 短相干光源 HWP QWP PBS R R T T Coherent Test Background Polarizations 4.2.2 共光路斐索型 /短相干光源FizCam2000s 共光路 动态干涉仪 Pathmatch controls which surface is measured S1 S2 4.2.2 共光路斐索型 /短相干光源FizCam2000s 续 Short Long Laser Diode Coherence Control 短相干光源的优势 4.2.2 共光路斐索型 /短相干光源FizCam2000s 续 光学厚度的测量 F2000 测量控制 4Sight F10 Recalibration:扫描找到起始零点，一般是TF的参考面 PathScan：在设定Range内扫描找到相关表面 StepSize：设定较小的值可以精确确定位置 Modulation Graph:可以看到扫描范围内的所有表面 F2000测量控制 定位不同的表面 扫描范围400 – 2000 mm 光学均匀性测量 JWST 800mm 次镜的远程测量 800 mm 5－8 m 4.2.3 F2000的应用－1 F2000 4.2.3 F2000的应用－2 菲索型大口径方案 DIY 大口径菲索干涉仪 FizCam 2000 动态干涉仪 第一款真正共光路的菲索型动态干涉仪 多元件、多表面的透过测量 远程空腔测量 均匀性测量 与扩束器结合构成大口径干涉仪 4.2.4 F2000的优势 Part of 4D Customers Xinξtics Eastman Kodak ITT Space Systems Raytheon Ball Aerospace Boeing University of Arizona Large Mirror Laboratory Optical Sciences Center Steward Observatory Aerospace Corporation Lockheed Aerospace LLNL Northrop Grumman NASA Marshall Space Flight Center Goddard Space Flight Center SSG / Tinsley Sandia Agilent Corning Nikon Nittoh kogaku Ushio Sagem Alcatel Jenoptik Precision Optical Showa Denko 国内：（ 40台) - 长光所 （9） - 技物所 （2） - 光电所 （2） - 西光所 （1） - 上光所 （2） - 南京天光所 （6） - 光学中心 （5） … … 真正的共光路菲索干涉仪 He－Ne光源：稳定的相干长度 动态 与ZYGO-GPI的区别：不需要防振台 4.3 F3000 谢 谢 高宏刚 hg.gao@4 1 背景： 目前应用对 在测量中，通常采用隔振台来消除环境的振动对干涉测量的影响，普通计量室不必多言，在国外亚里桑那大学镜面实验室中有个承重30顿的近30米高的空气隔振台，在国内南京天光所有造价昂贵的一个20平米左右的大型隔振台；但是这些措施都不是很理想的，效果也不如小型隔振台好。对于大镜子的检测而言，其难度不仅在于大型隔振台的制造难度，也在于将大尺寸镜面移动到隔振台上的风险。另外对于太空光学镜，大型真空仓内的实验很难隔振。 理想的气流条件是在整个测量光腔内，气流场是稳定不变、密度均匀的。但这是不可能的。 在加工现场，