白光干涉表面结构测量仪的优化设计和应用.pdfVIP

　20 10年 仪 表 技 术 与 传 感 器 2010　 　第 2 期 In strum en t　Techn ique　and　Sen sor No2　 白光干涉表面结构测量仪的优化设计与应用 1, 2 1 2 1 王生怀 , 王淑珍 , 陈育荣 , 谢铁邦 ( 1. 华中科技大学机械学院仪器系, 湖北武汉 　430074; 2. 湖北汽车工业学院机械系, 湖北十堰 　442002) 　　摘要 :为测量微机电系统的表面结构, 研制了一种基于白光干涉法的表面结构测量仪 。设计了显微干涉仪, 通过实验 分析了显微干