氧化锡硅纳孔柱阵列传感性能研究.pdfVIP

摘要 摘要 随着科学技术的发展和生活质量的提高，用于环境检测的传感器也朝着微 型化、智能化和集成化方向发展。 虽然二氧化锡(Sn02)是传统半导体气体传感材料中的明星材料，对CH4、 不很充分。硅纳米孔柱阵列(Si．NPA)具有独特的纳米／微米三重层次复合结构， 以Si．NPA作为传感元件的衬底材料，不仅可以提供较大的气体接触表面积还可 为气体传输提供有效的通道，从而有效提高传感材料的响应性能。 本文采用化学气相沉积法在Si．NPA上沉积纳米Sn02薄膜，制备出具有高 比表面积、颗粒分布均匀的Sn02／Si-NPA纳米复合体系，并对其气湿敏性能进 行研究。围绕本研究课题，开展的实验工作及结果如下： 1．借助于XRD、SEM等分析手段，研究了改变生长条件，如反应物质量、生 长源位置、生长温度、生长时间和通气时间等对样品的形貌结构的影响， 制备出了质量较高的Sn02／Si-NPA纳米复合体系。 2．在一系列不同的湿度条件下对Sn02／Si．NPA元件进行了湿敏测试。通过对 不同测试频率下电容．湿度，灵敏度．湿度响应曲线比较分析，得出了最佳测 试频率为1000Hz。测试结果表明，Sn02／Si．NPA湿敏元件具有输出信号强， 电容．湿度曲线线