用于光束整与超分辨成像的衍射光学元件的设计和实验.pdf

摘要 摘要 本论文的内容分为两个部分，第一部分为用于光束整形的衍射光学元件 (DOE：Diffractive OpticalElements)的设计和实验，第二部分为用于超分辨成像的 亚波长衍射光栅的相关理论分析。 第一部分的研究工作围绕衍射光学元件用于光束整形展开。衍射光学元件 的应用非常广泛，在具体的工程应用中面临着不同的系统环境，我们的研究目 的就是优化设计衍射光学元件使之适应不同系统，使光束整形效果能够满足一 定的工程需要。由于所研制的光学元件的衍射子单元在几百或几十微米的量级， 所以采用基于标量衍射理论的设计方法。其主要内容和成果如下： 一、DOE表面反射对高功率激光系统的影响及其解决方案 Confinement 在惯性约束核聚变系统(ICF：Inertial Fusion)Q，强激光使用环 境对光学元件提出了特殊的要求，在强光应用中，必须重视由DOE表面反射引 起的强度调制问题，严重的强度调制将恶化激光束质量，甚至损坏光学元件。 用菲涅尔衍射理论，我们模拟了320mm口径DO