硅基薄膜材组份激光微区光谱分析法与应用研究.pdfVIP

I—I．。 摘要I皇曼曼曼量!量曼曼鼍曼量皇皇皇笪曼曼曼曼曼曼曼鼍曼量皇曼皇鼍曼量量曼量曼曼曼曼曼皇曼皇量 曼皇曼量曼曼曼曼鼍鼍曼曼曼皇曼曼置曼曼曼曼II一_i 摘要 硅基薄膜的组份对其性能具有重要影响，对其组份的检测一直是国内外科研工作者 比较关心的问题。本文采用YJG_II激光微区分析仪、组合式多功能光栅光谱仪、CCD数 据采集处理系统构成的激光微等离子体光谱分析系统，以亚微米硅基薄膜为样品，研究 了激光微区光谱分析法及其在硅基薄膜材料组份定量分析中的应用。 本文针对硅基薄膜材料的特殊性，化学计量比对其性能具有重要影响，而在定量测 量时无法使用内标法与标准加入的常规分析方法。考虑到激光烧蚀样品产生等离子体， 等离子体的原子组成反映了样品的原子组成，试样中原子含量的多少，．可以反映到该种 原子产生的等离子体所发射的谱线强度上。依据等离子体中原子由高能级向低能级自发 跃迁辐射的光谱强度与原子个数的关系，提出了采用计算线性因子K，来计算薄膜样品 元素比率的方法。 探究了提高薄膜材料激光微等离子体光谱强度的方法，通过对硅基薄膜表面覆盖碳 层，克服了材料表面高亮度对激光能量的反射，增加激光能量与薄膜的热耦合效率，有