磁控溅射和弧离子镀方法合成zrblt;,2gt;aln、crnaln纳米多层膜的研究.pdfVIP

中文摘要 捅姜 表面工程作为一门新兴的综合性学科，近年来，在国内外得到了迅速的发展。 实践表明，表面工程的运用能有效改善材料的表面性能，提高生产力，节约资源。 硬质薄膜因其可以显著改善工模具的切削性能、抗磨损性能、不仅延长了使用寿 命还增加了产品的美观度而备受关注。近二十年来发展起来的纳米多层薄膜，由 于在较小调制周期下表现出比单一薄膜更优异的综合力学性能而成为继单层硬 质薄膜后另一类具有良好发展前景的硬质薄膜材料。 本文利用超高真空射频磁控溅射技术在si(100)基底上设计合成ZrB2／／kiN纳 米多层膜，并且利用多弧离子镀技术在Si(100)和不锈钢基底上设计合成了 CrN／A1N纳米多层膜。利用表面轮廓仪和纳米力学测试系统研究了薄膜的机械性 能，包括表面硬度、弹性模量以及薄膜与基底的附着力等；通过X射线衍射(XRD) 分析手段研究了薄膜的结构特征；利用摩擦磨损仪研究了薄膜的耐磨损性能。揭 示了多层膜体系的结构、性能以及工艺参数之间的相互关系，找出了合成最佳多 层膜的工艺，使多层膜体系的硬度和附着力优于单质薄膜材料。 1．射频磁控溅射沉积ZrB2／AlN纳米多层膜部分 在ZrB2／A1N纳米多层膜的研究中