磁控溅射法备类三明治结构cucocrptcu纳米薄膜的微结构与磁特性研究.pdfVIP

摘 要 纳米铁磁金属薄膜的研究，近年来成为纳米磁学领域的研究热点。镶嵌在 非磁材料中具有六角密积结构的CoCrPt系薄膜由于其潜在的应用价值受到人们 的广泛关注。本论文应用直流对靶和射频磁控溅射法，沉积了系列Cu／CoCrPt／Cu 类三明治结构的纳米磁性薄膜，利用X射线衍射仪(XRD)、多功能扫描探针显 微镜(SPM)等对材料的微结构和表面形貌进行了表征，利用振动样品磁强计 (VSM)对材料的磁特性进行了分析。得到的主要结果如下： (1)固定衬底层和磁性层不变，用磁控溅射法制备了系列Cu(t=1，4，6， 8，10rim)／CoCrPt(30nm)／Cu(2nm)类三明治结构样品，发现覆盖层Cu 的厚度对样品的微结构和磁特性有着很大的影响。适当的Cu覆盖层厚度对样品 颗粒的细化、均匀以及表面粗糙度的改善是十分有利的。VSM测量表明，样品 呈垂直磁各向异性，且在一定的范围内，垂直膜面方向的矫顽力随覆盖层厚度 的增加而增加，分析认为该现象主要是由形状各向异性引起的。此外，颗粒状 磁畴图样表明薄的衬底层的选择对于形成柱状磁畴结构是一个很好的手段。 nm)／CoCrPt