磁控溅射法备氮掺杂的tiolt;,2gt;薄膜及其光学性能研究.pdfVIP

摘要 近年来，人们发现Ti02光催化材料还具有净化空气、杀菌、除臭、超亲水性等功 能，并已经广泛应用于抗菌陶瓷、空气净化器、不用擦拭的汽车后视镜等领域。半导体 纳米Ti02因其化学性质稳定、无毒和能有效去除大气和水中的污染物而成为解决能源 和环境问题的理想材料，并引起了各国研究者广泛的兴趣。但是TiOz是宽禁带(窜3．2ev) 400nm)只占到达地面上的太阳光能的4％～6％，太阳能利用率很低。而可见光却占了太 阳光能总量的45％，因此缩短催化剂的光学禁带宽度使吸收光谱向可见光扩展是提高太 阳能利用率的技术关键。其对应的非金属掺杂有望实现能带工程和其他有利功能，引起 了人们的广泛关注和研究。本文制备氮掺杂的Ti02纳米薄膜就是其中较为典型的一种， 它在不降低紫外光光催化活性的基础上，还可以加强Ti02纳米薄膜在可见光范围的扩 展程度和吸收强度。 用不同方法制备的Ti02．xNx薄膜性能参数差异较大，目前文献报道的多数是采用溶 胶．凝胶、加热、离子注入和激光脉冲沉积等方法制备的。本工作用射频磁控溅射法在 普通玻璃衬底上生长了Ti02．xNx薄膜，并研究氮氩流量比、工作气压、衬底温度、溅射 功率和退火温度对其结构和光学性能的影响。 第一章首先介绍了Ti02材料的基本性