类金刚石薄的制备和光学性质研究.pdfVIP

摘要 carbon 类金刚石薄膜(Diamond-likefilms)发现于20世纪70年代，是 一系列含有sp3和sp2键的非晶碳膜，它有着和金刚石膜非常接近的性质——高硬 度、高弹性模量、耐磨损、低摩擦系数、高电阻率、高透光率和高化学稳定性等。 因此，类金刚石薄膜技术被广泛应用到机械、电子、光学和医学等各个领域。掺 杂的DLC膜是一种非晶半导体材料，禁带宽度可以在1-4eV之间调制，可大面积 生长，材料自身和加工过程环保，在光电探测领域的运用具有非常大的潜力。但 目前DLC半导体掺杂尚无法获得n型或者P型DLC半导体材料。 本文对DLC薄膜的制备、掺杂、结构表征和光学性质进行了研究，主要工作 分为两个部分： 第一部分是本征和掺杂DLC材料的制备和表征。采用磁控溅射、多弧离子镀 和PECVD三种方法制备高质量DLC薄膜，对DLC材料进行B元素和N元素的掺杂， 对所制备的薄膜进行表面平整度、硬度和厚度方面的表征，对掺杂DLC膜进行俄 歇能谱测试；对本征及掺杂DLC材料进行拉曼光谱分析，提出了一种基于G峰宽 度的拉曼光谱分析新方法。采用G峰宽度分析法对非氢、含氢和掺杂DLC薄膜的 拉曼光谱进行了详细的分析，得出硼原子的掺入主要以链状sp2的杂化形式存在 的结论。