超薄膜生长动力学仿真.pdfVIP

超薄膜生长中的动力学仿真研究 专业：光 学 硕士生：魏钰薇 指导教师：江绍基教授 摘要 超薄膜生长描述的是薄膜生长初期膜层的形成过程，在该过程中的粒子动 力学行为以及膜层的微观结构演化对于薄膜后期的结构与性质有着很大的影 响。基于计算机技术的动力学蒙特卡罗模拟可以深入了解表面粒子的吸附、扩 散、成核及再蒸发过程，为优化实验制备工艺、改善薄膜质量、补充相关理论 等提供了可靠依据，因而在薄膜科学领域具有十分重要的研究意义。 基于薄膜生长理论，本论文首先建立了超薄膜生长的晶格．动力学蒙特卡罗 模型，研究了单晶Si在Si(111)面上的生长初期的动力学过程，讨论了不同 基底温度、沉积时间等条件下，吸附粒子的表面扩散过程对于薄膜表面形貌的 影响。本文的仿真结果与已有的相关理论基本符合，证明了模型的合理性。 本论文通过改进表面生长的晶格模型来建立超薄膜生长的准连续-动力学 蒙特卡罗模型，并研究了采用电子束蒸发技术在非晶Si02基底上制备多晶硅薄 膜的初期动力学过程。本文发现薄膜结晶度随基底温度的变化的曲线变化率出 现了拐点，而且拐点处的制备温度使