高精密扫描道显微镜及原子力显微镜研制.pdf

摘要 摘要 扫描隧道显微镜和原子力显微镜是扫描探针显微镜家族里应用最为广泛的 两种显微镜。它们拥有原子分辨、原子搬运、纳米微加工等共同的功能性特征， 但因二者的工作原理的不同，它们得到的结果所反映的样品表面信息是完全不同 的。扫描隧道显微镜测量的是样品表面的电子态，它得到的结果反映的是样品表 面的电子态分布的信息。虽然具有原子分辨率，但扫描隧道显微镜并不能测量到 样品的真结构。 而原子力显微镜测量的是探针原子与样品原子之间的相互作用力，因而它得 到的图像反映的是样品表面真实的原子排列信息，即：样品的真结构。但，原子 力显微镜不能测量到可与理论比较的电子态的信息。所以扫描隧道显微镜和原子 力显微镜是互补的。 目前世界上商业和自制的扫描隧道显微镜和原子力显微镜非常多，也已经很 成熟，但绝大部分都需要在高电压(高于lOOV)的条件下才能工作，原因在于 他们用于粗逼近(进针)的压电步进马达需要高压才能工作。使用高电压就必须 要使用诸如高压运算放大器，高压三极管等高压元器件，这就带来了漏电流大、 精度低、噪音大、温漂大等一些列的缺点，同时高电压的使用也带来了高成本和 高不安全因素。而且这些在高