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- 2015-10-24 发布于贵州
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摘 要
氧化锌(ZnO)是一种具有六方结构的II-VI族宽带隙半导体材料,室温禁带宽度为
3.37eV,激子束缚能高达60
meV,具有优良的物理和化学性质。ZnO目前广泛应用于
压电传感器、变阻器、气敏元件及光电产业中具有重要价值的透明导电膜。由于氧化锌
具有较高的激子束缚能(60meV),保证了其在室温下较强的激子发光,因而被认为是制
作紫外半导体激光器的候选材料。自1997年首次发现ZnO室温紫外受激发射以来,ZnO
研究已成为继GaN之后紫外发射材料研究的又一研究热点。而近年来ZnO薄膜作为ITO
薄膜的替代材料,成为透明导电薄膜的新宠,正引起人们日益广泛的关注。ZnO极有潜
力在未来的半导体领域中扮演重要角色。而在氧化锌器件的应用中,高质量的金属/ZnO
接触的制备是至关重要的问题,不管是欧姆接触还是肖特基接触都是ZnO器件应用发
展的前提和基础。然而目前,在金属/ZaO接触的研究中,充当欧姆或肖特基接触电极
角色的多为不具有透明性的金属材料,使得氧化锌材料在光电子器件中的应用受到一定
的限制。 .
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Ir02是一种既透明又导电的金属氧化
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