cflt,4gt;射频等离子体硅橡胶表面疏水疏油改性研究.pdf

中南人学博十论文 摘要 摘 要 采用射频容性耦合、感性耦合CF4等离子体对硅橡胶试样进行表面改 性。等离子体改性前后硅橡胶试样表面形貌、化学官能团和疏水疏油性分 (ATR．FTIR)、X射线光电子能谱(XPS)和静态接触角表征。 sccm，经200 当CF4气体流量为20 W射频容性耦合与200W射频 感性耦合等离子体处理5min后，硅橡胶试样表面均方根粗糙度像a)由原 始试样的42．460nln分别增至134．425nm和46．613nnl。说明在对硅橡胶 试样处理过程中，由于载有试样的高频电极较高自偏压的存在，CF4等离 子体中阳离子经加速后轰击试样表面，增强了对硅橡胶试样表面的溅射、 刻蚀作用，射频容性耦合CF4等离子体在改变试样的微观形貌方面明显强 于感性耦合等离子体处理工艺。 性耦合CF4射频等离子体200W直接处理20min后，硅橡胶试样表面官 0．029；加～容性耦合等离子体100W预处理5min后，再经容性耦合