利用纳米压技术构筑图案化氧化锌纳米棒阵列及其光电性质研究.pdfVIP

FABRICATION OF PATTERNED ZINC OXIDE NANOROD ARRAYS BY NANOIMPRINT TECHNIQUE AND INVESTIGATION ITS PHOTO-ELECTRIC PROPERTIES A Dissertation Submitted to the Graduate School of Henan University in Partial Fulfillment of the Requirements for the Degree of Master of Science By Zhang Yayan Supervisor: Associate Prof. Wang Shujie May, 2013 摘 要 对于高性能的太阳能电池或其它的光电器件来说如何设计和调控具有光捕获能力 的类光子晶体微纳结构来提高器件的性能具有十分重要的意义，因此利用一些微纳加工 技术来设计和构筑具有可调节光吸收带隙的微纳结构来扩展太阳能电池在不同波段的 光吸收作用从而提高器件的性能具有很好的应用前景。在当前的微纳加工技术中，纳米 压印技术因其具有高效率、大面积、低成本等优点而获得了广泛的关注。但在纳米压印 过程中，压印所需的模板一般由电子束刻蚀技术构筑得到，其制备成本较高，限制了纳 米压印技术的进一步发展和应用。 本论文以自组装聚苯乙烯微球（Polystyrene microspheres ，简称PS 微球）有序纳米 结构为模板，构筑了聚二甲基硅氧烷（Polydimethyl meth siloxane ，简称PDMS ）纳米印 章有效的解决了纳米压印过程中模板制备困难的问题。然后利用纳米压印技术结合磁控 溅射技术构筑了具有陷光作用的半球形氧化锌纳米圆顶阵列。用低温水热生长的方法制 备了功能化的半球形氧化锌纳米棒阵列，通过控制水热生长温度和前驱体溶液的浓度来 控制半球形氧化锌纳米棒阵列的周期性，从而得到了具有可调节光吸收带隙的氧化锌纳 米结构；最后对这种结构的光电性质以及其在染料敏化太阳能电池中的应用做了初步的 探索。本文主要开展了以下几方面的工作： 1、利用液面自组装法制备PS 微球模板，用PDMS 印章复制单层PS 微球表面结构， 利用制备的 PDMS 模板进行纳米压印，然后在压印好的聚甲基丙烯酸甲酯 （PolymethylMethacrylate ，简称PMMA ）半球结构表面磁控溅射一层氧化锌种子层，利 用低温水热法对样品进行水热生长，通过控制水热反应的前驱体浓度和反应时间来调控 氧化锌纳米棒阵列的间距和密度。利用扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM ） 和紫外-可见（UV-Vis ）吸收光谱对半球形氧化锌纳米棒阵列的形貌和光学性质进行了 研究。结果显示，制备的半球形氧化锌纳米棒阵列在可见区（450 nm 到640 nm ）具有 光捕获效应。通过控制水热过程中的前驱体的浓度和反应时间，很容易的调控周期性的 半球形 ZnO 纳米棒阵列的间距和密度。同时，在可见光区域的光捕获效果可以从 450 nm 、640 nm 调节到480 nm 、650 nm，这与半球形ZnO 纳米棒阵列的周期性相关。 2 、对制备的半球形氧化锌纳米棒阵列进行了光电性质的研究，研究了该结构的染 I 料敏化太阳能电池的效率。将这种结构高温退火，用染料N719 浸泡后进行效率的测试， 发现与半球形的氧化锌种子层相比，经过水热生长的半球形氧化锌纳米棒阵列效率有明 显的提高，但是与平膜的相同水热生长条件下的样品相比，效率不如平膜结构。这是由 于半球形氧化锌纳米棒阵列高温煅烧后PMMA 挥发，使得氧化锌纳米棒和基底FTO 的 接触不牢固，造成电阻太大，短路电流很低；此外氧化锌纳米棒的长度较短