柔性衬底上刚石薄膜的制备及其附着性能研究.pdfVIP

摘要 本文采用石英钟罩式微波等离子增强化学气相沉积装置，在柔性衬底铜衬 底上沉积了附着性能良好的金刚石薄膜，详细研究了不同过渡层对薄膜附着性能 的影响，研究结果表明：在铜基底上采用11．AI．Mo过渡层是提高金刚石薄膜附 着力的有效方法。 本文还研究了不同粒度金刚石微粉丙酮溶液超声预处理、衬底温度、沉积 时间等工艺参数对金刚石薄膜与铜基底的附着性能及薄膜质量的影响，通过优化 工艺参数可以提高薄膜在衬底上的形核率，减小晶粒尺寸，提高薄膜质量。 提高金刚石薄膜与铜衬底附着力的关键是减小沉积结束后降温过程中产生 的膜基热应力和提高膜基间化学键结合。我们采用添加过渡层的方法来释放膜基 问热应力，从而提高膜／基附着力。采用单层钛、钼过渡层，膜／基问附着力的提 高不明显，而且金刚石膜往往从过渡层上脱落。采用钛．铝双层过渡层，膜／基间 结合力有所提高，但部分金刚石膜仍然从过渡层处脱落，采用洛氏硬度仪检测未 脱落会刚石膜与基体间的结合力时发现，压痕周围金刚石膜碎裂脱落；采用钛铝 ．钼过渡层，金刚石膜和铜衬底间的结合力大大提高。采用压痕法检测膜基附着 力时，压头周围的金刚石膜碎裂但没有脱落，XRD测试发现薄膜与衬底间生成 的多种化合物。正是这些化合物形成的化学结台提高了金刚石