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外延钙钛矿构铁电薄膜热力学性质的研究
外延Ba,SrI.,HO】薄膜热力学性质的研究 中文摘要
中文摘要
随着现代科技的发展,微电子技术和计算机技术飞速发展,对高速、高容量新
材料的需求越来越迫切。钙钛矿结构铁电材料因为其较高的介电性质、巨大的调谐
性和相对较低的损耗,成为最引人关注的铁电材料,为微电子设备和微波装置性能
性质是由两种材料综合决定。当量子顺电体SrTi03中掺入适当浓度的铁电体BaTi03
时,将会引入铁电性,出现由杂质诱发的顺电一铁电相变,因此BaxSrl.x1103根据材
料中所含BaTi03浓度的多少将表现出顺电和铁电两种不同的结构相。SrTi03因为
量子涨落的抑制作用即使在接近OK时仍然没有表现出铁电一顺电相变,但BaTi03
这将有利于在室温时获得巨大的介电常数。但对于外延BaxSrl.xTi03薄膜因为其组
分和微结构的不均匀性,薄膜内部的缺陷,以及基底和薄膜之间的晶格失配应变,
导致外延薄膜产生许多有别于体材料和单晶材料的热力学性质。
应变是影响外延铁电薄膜的本征机制,内部应变包括正应变和剪应变,而正应
变有张应变和压应变之分。当基底晶格参数大于薄膜晶格参数时,材料内部会产生
张应变;基底晶格参数小于薄膜晶格参数时,意味着压应变的出现。当铁电材料外
延生长于较厚的基底上时,剪应变的影响可以忽略。因为内部应变的影响,外延
BaTi03薄膜将出现五个低温结构相,这有别于体材料的三个结构相,类似的影响也
存在于外延的PbZr03薄膜中。当外延铁电薄膜生长在非立方基底上时,平面内双轴
应变各向异性,导致平衡极化态的改变,从而产生新的相,这些相并不存在于生长
在立方基底上的薄膜之中。
本文在朗道一德文希尔唯象模型的基础上,通过计入薄膜内部应变和自发极化,
考虑了铁电序参量和应力之间的耦合作用,并运用了应力边界条件,获得了外延单
畴的Bao
外延Ba。Sr“Ti03薄膜热力学性质的研究 中文摘要
的结果。在朗道一德文希尔理论的基础上,通过考虑非立方基底所引起的薄膜平面内
非平衡双轴各向异性应变,我们计算了生长在正交基底上的PbTi03薄膜的极化分量
和介电常数。进一步地,结合外电场的影响,我们考虑了在外电场影响下薄膜的介
电调谐率。 ‘
关键词:外延单畴BaxSrl。Ti03(BST)薄膜、外延单畴PbTi03薄膜、
朗道一德文希尔唯象模型、平面内双轴应变、电光响应、
非立方基底、介电常数、介电调谐率
作 者:刘浦锋
指导教师:蒋青
外延Ba。SrlJlOJ薄膜热力学性质的研究 英文摘要
Abstract
Withthe ofmodemmicro-electronicsandsemiconductor
development technologies,
and been
materialshave
high—speedhigh—volume widely
ferroelectricmaterialshavebeen asthe’most candidates
recognized promising for
because
of dielectric andlowdielectricloss.
application high constants,greattenability
Asa
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