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摘要
Ill203是一种N型半导体气敏材料,具有较宽的禁带宽度、较小的电阻率和较高的
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催化活性等特点,可广泛用于光电领域,如太阳能电池、液晶设备、气体传感器等。因
弋 此,In203纳米材料的研究与开发已成为热门课题。In203纳米材料气体传感器可应用到
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许多方面,如农业、生物工艺过程,建筑业,环境保护行业等。
本研究采用几种不同方法分别制备出Ill203纳米粉体,利用XRD对产品的物相进行
了分析;用SEM与TEM对粉体晶粒的形貌和粒径进行了观察;研究了不同工作温度、
气体浓度对材料气敏性能的影响。实验结果表明:室温固相合成法、化学共沉淀法和水
热法制备的粉体的形貌为棒状。均匀沉淀法制备的In203气敏元件对C12具有最佳的灵
时间短等特性。
10.6,响应时问为8s,恢复时间为ls。
为了提高IIl203气敏材料的灵敏度,掺杂是一种行之有效的方法。文章采用金属元
对10ppmCl2的灵敏度也可以达到28.5。且具有选择性好,响应一恢复时间短等特性。
10。C低温下,
别达到灵敏度最高。以La(N03)3掺杂为例,当掺杂量为7%时,元件在l
关键词:ha203,表面活性剂,水热法,掺杂
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ABSTRACT
Indium all semiconductorthatshowstawide andalowresistance
oxide(In203)isn-type band—gap
and nanometermaterials.isan material谢tllexcellent in
goodcatalysis.In203
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