机械高精度平面度快速检测.docVIP

Webon快速平面度检测 一．首先采用平面检测仪器 对研磨后的器件平面采用平面度检测仪定初步精度 如研磨后的器件达到5um以内 可以用平晶进行检测 未达到 继续研磨 器件可以不用下盘。 FG-5 检测120以内 FG-7 检测170以内 FG-9 检测220以内 FG-30 检测650以内 二 达到5um以内用平面平晶体检测 ．首先看是否有条纹。是否合格 以300的密封器件为例的。 检测的整个面 必须首先看到同心圆才合格 2um的面型精度 整个面的同心圆条纹 小于3个 1个同心圆条纹精度大于在0.8um 3个就是2.4um左右 也就是说必须是小于3个的同心圆条纹才合格。 N3 Cdw-30 I 30mm Φ30 15mm Cdw-45 I 45mm Φ45 15mm Cdw-60 I 60mm Φ60 20mm Cdw-80 I 80mm Φ80 20mm Cdw-100 I 100mm Φ100 25mm Cdw-150 I 150mm Φ150 30mm Cdw-200 I 200mm Φ200 40mm Cdw-250 I 250mm Φ250 45mm Cdw-300 I 300mm Φ300 45mm Cdw-350 I