金刚石薄膜致发光特性研究.pdfVIP

F460098 摘 要 t ， 4无机薄膜电致发光显示侄光谱蓝区至今仍未获得理想的监色电致发光，无法 实现仝色化。这一缺陷大大限制了这项技术的应用范围，因此，蓝光问题足无机 薄膜电致发光显示领域的研究热点。 本文尝试，几种提高金刚石薄膜电致发光强度的方法，在国际上首次制备出 了铈掺杂金刚石薄膜电致发光器件，并首次研究了硼氮双掺杂金刚石薄膜巾硼和 氮掺杂量剥会刚石薄膜电致发光特性的影响规律，得到了一些新的研究结果。并 d{此发现在金刚石薄膜中掺入Ce”的方法可较大幅度地提高会刚石薄膜蓝区电 致发光强度，并使我们制备出的金刚石薄膜蓝区电致发光器件的最大发光强度达 到了3．5cd／m2。 1． 硼掺杂会刚石薄膜电致发光的研究 以固体B203为掺杂源制备出了高质量的掺杂会刚石薄膜(硼掺杂的精确浓 度未测出，所以，硼掺杂量用了在沉积掺杂金刚石薄膜时放入CVD反应宦中的 固体B：03的质量来表示)，在此基础Hj|』备}|{了两种结构的无衬底硼掺杂会刚石 薄膜电致发光器件，并发现： 对竹