钛酸钡系钙矿结构薄膜的制备和性能.pdfVIP

河南大学凝聚态物理专业2003级硕士论文 摘要 钛酸钡系薄膜材料由于其丰富的物理性能及广泛的应用前景己成为功能材料 与器件研究方面的热点之一，研究核心就是将钛酸钡薄膜与半导体集成技术相结 合，通过其铁电、压电、热释电、介电、电光及非线性光学等效应，发挥其在信 号存储、转换、调制、开关、传感等应用领域里的作用。由于纳米材料的小尺寸 效应及表面效应，薄膜表(界)面的晶格结构、化学形态和电子态成为决定薄膜性能 的重要因素，而这些因素又直接影响着钛酸钡系薄膜的实际应用。本论文选择钛 酸钡及其掺杂钛酸钡薄膜的溶胶一凝胶法制备、微结构物理和性质作为研究课题。 主要工作如下： (ARxPS)研究了薄膜的表面化学态以及最顶层原子种类和分布状况，结果显示在 热处理过程中薄膜表面形成一层富含BaO的非计量钛氧化物层，并且钡．钛原子浓 度比随着探测深度的增大而逐渐减小。 2．研究了熔石英衬底上BaTi03薄膜的光学透射谱，并利用透射谱计算出了 大于文献报导的单晶薄膜的光学带隙，对于结晶性好的薄膜，其光学带隙接近于 单晶值，退火温度越低，结晶性越差，与单晶的光学带隙相差越大。这种差别主 要是由量子尺寸效应和薄膜中存在的无定形相引起的。 的影响。结果表