《薄膜制备与表面分析06》.pptVIP

ISS ?? 引言 以离子作为探测束具有一些独特的优点，如可得到最表层的信息，具有很高的检测灵敏度，能给出十分丰富的表面信息等，因而得到了广泛的应用。离子散射谱一般分为两种，一种是低能离子散射谱，一般称为离子散射谱(ISS)；另一种是高能离子散射谱，一般称为Rutherford背散射谱(RBS)。 ISS ?? 引言 无论是ISS还是RBS都是以入射离子与靶原子进行弹性碰撞为基础的。根据弹性散射理论，分析散射或背散射所携带的有关靶原子的信息。 ISS ??基本原理 对固体表面离子散射的研究，已经有相当长的历史了。1967年Smith首次利用低能离子散射进行了表面分析。 基本思想是利用低能惰性气体离子(几keV以下)与靶表面原子进行弹性碰撞，根据弹性散射理论，散射离子的能量分布和角分布与表面原子的原子量有确定的关系。 ISS ??基本原理 通过对散射离子能量进行分析就可以得到表面单层元素组分及表面结构的信息。由于信息来自最表层，因而ISS成为研究表面及表面过程的强有力的分析手段。 用低能(0.2~2 keV)的惰性气体离子与固体相互作用时，可发生弹性散射和非弹性散射两种情况。选择入射离子的能量，使之低于某一数值后可以使其与表面主要发生弹性散射。 ISS ??基本原理 一般情况下，若入射离子的原子量为A，则当离子能量远低于A keV时，则主