可控线宽导模共振滤波器设计及特性的研究.pdf

摘要 摘要 窄带滤波器是一种在光学领域中广泛应用的光学器件。与传统的多层膜结 构滤波器不一样，导模共振滤波器是利用波导光栅结构的共振效应来实现滤波。 这种新型滤波器，由于其结构简单、高衍射效率及带宽可控等特性，引起了人 们的广泛兴趣。为了使导模共振滤波器实现其应用目的，人们必须能够对它的 光谱响应进行有效的控制，例如：线型对称、旁带反射率、滤波线宽等。本论 文运用平面介质波导理论和严格耦合波分析方法对导模共振效应的物理机理及 其独特的光学特性进行了研究。结合导模共振效应和薄膜光学原理，设计并研 究了两种不同结构的导模共振滤波器。 本文中设计的两种导模共振滤波器，一种是光栅层介质为强调制的浅光栅 结构的导模共振滤波器，另一种是光栅层介质为弱调制的带间隔层结构的导模 共振滤波器。对于这种强调制浅光栅导模共振滤波器，光栅层具有与波导层相 等的等效折射率，它的滤波线宽对光栅层厚度的变化非常敏感。使光栅层和波 导层总厚度保持不变，通过调节光栅层厚度和光栅周期，在满足对称线型和低 反射率旁带要求下，可以实现不同滤波线宽的光谱响应。采用该方法进行设计 可以有效的控制光栅的深度，因此，在一定程度可以降低导模共振滤波器的制 作难度。对于这种带间隔层的弱调制介质光栅导模共振滤波器，通过改变间隔 层的厚度，控制外部入射波与泄漏导波模之间的耦合强度，从而实现对滤波线 宽的控制。研究结果表明，这种带间隔层的弱调制介质光栅导模共振滤波器， 它的共振峰对光栅厚度、光栅填充比和光栅面形的变化是欠敏感的，因此，该 种结构导模共振滤波器相对比较容易制作，具有良好的应用前景。 本论文中所设计的两种不同结构的可控线宽导模共振滤波器，在一定程度 上能够优化导模共振滤波器的制作，具有一定的理论价值和实验价值。 关键词：导模共振效应，窄带滤波器，等效介质理论，严格耦合波分析方 法 Il Abstract ABSTRACT narrowbandfilterisservedasbasic elementsused inthe The optical widely optical effectofthe field．Guided—mode utilizeresonance resonance(GMR)filter，which torealize differentfromthetraditional structures filter，is optical waveguidegrating considerable new offilterhasattracted filterstacked thin-films．This bymultiple type interestvirtueoftheir as characteristics，suchsimplestructures，high by good makeGMRfilterfor andcontrollablelinewidth．To practicalapplications， efficiency oneneedtocontrolthe ofthefilter