《NiOxHy薄膜电致变色性能的研究》.pdfVIP

太阳能学报980304 太阳能学报 科技期刊 Acta Energiae Solaris Sinica 1998年 第3期 No.3 1998 NiOH 薄膜电致变色性能的研究 x y 周志扬 史月艳 (清华大学电子工程系，北京100084) 文 摘：利用直流磁控溅射法，在O ＋H 的气氛下制备了NiOH 薄膜，研究了不同氢气含量对薄 2 2 x y 膜的初始沉积态、漂白态和着色态透光性能的影响，含氢量为80%时，薄膜的初始沉积态的平均可 见光透射比最高。含氢量为60%时，薄膜的电致变色能力最佳。用获得的NiO