《共路移相剪切干涉测量仪的研制》.pdfVIP

华中理工大学学报990306 华中理工大学学报 JOURNAL OF HUAZHONG UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 1999年 第27卷 第3期 Vol.27 No.3 1999 共路移相剪切干涉测量仪的研制 刘晓军　章明　李柱 摘　要　介绍一种用于非球面面形测量的剪切干涉仪.仪器采用新型剪切发生器，可实 现完全共光路和分步相移干涉，其结构简单，有较好的抗干扰性、稳定性和可靠性.实 验结果表明，仪器重复性达到λ/50. 关键词　共光路；移相；剪切干涉仪；非球面测量 分类号　TH 744.3 A Common-Path Phase-Shifting Shearing Interferometer Liu Xiaojun　Chang Ming　Li Zhu