软X射线多层膜光栅衍射的运动学理论和实验的研究.pdf

中国科学技术大学博士论文 摘要 摘 要 论文着重处理软x射线多层膜光栅的衍射问题，从理论和实验两方面对这一 类型光栅的衍射进行了较细致的研究。 引言中介绍了X射线的主要光学性质、x射线光学器件的进展、特别是着重 介绍了处理多层膜光栅衍射问题的光学方法(标量理论)和电动力学方法(矢量 理论)。f指出所介绍的各种处理多层膜光栅衍射的方法，都是采用光的波动模型， 即从光的电磁理论出发，通过求解Maxwell方程或Helmholtz方程，得到电磁场 在多层膜光栅中的衍射特性。虽然多数结果能够定性或定量地与实验结果吻合， 但用电磁波模型处理多层膜光栅的衍射，由于需要求解波动方程，所以必须利用 特定的边界条件。而且其方法和结果又非常依赖于边界条件，即不同的边界条件 不仅仅会导致不同的结果，而且将会使求解的过程大为改变，在有些情况下，比 如光栅剖面的形状比较复杂时，可能根本无法求解。所以只有光栅具有比较特殊 的剖面，如矩形或三角形的剖面，才能够从数学上求解。求解电磁理论中微分方 程的方法是相当复杂的。由于无法直接从数学上得到形式上简单明了的解析解， 而必须依赖计算机通过大量的数值计算以得到数值解，所以不便于对研究对象的 、 ／ 物理特征进行分析和讨论。J√ ， 第二章至第四章用x射线衍射的运动学理论研究了多层膜光栅以及多层膜光 栅单色器的特性。 ／、 ／第二章中，阐述了采用一种简单而有效的模型来处理多层膜光栅的衍射问题 L 的理由，并基于软x射线被介质中电子弹性散射的物理机制建立了衍射的运动学 理论。用运动学理论首先得到了多层膜光栅中一个基本单元(即一个双层膜)的 散射波，进而得到了具有周期性结构的多层膜光栅的散射波。对软x射线多层膜 光栅的衍射特性进行了研究，发现其衍射规律与多层膜的Bragg衍射和普通光栅 的衍射有本质的区别，同时它又保持了多层膜的高反射率和光栅的高分辨本领。 由于各个界面的完整性被破坏，除零级衍射由多层膜Bragg衍射决定外，它不服 从多层膜的Bragg衍射规律，而入射角、衍射角都偏离Bragg角0。；它与光栅 也不同，其大部分衍射能量可被集中到某一级上(可以是非零级)。多层膜光栅 同时存在两种色散关系，一波带入射到多层膜光栅上时，衍射束的中心波长随着 中国科学技术大学博士论文 入射角(及衍射角的中心位置)的变化而改变，同时衍射角口按波长丑展开。多 层膜光栅衍射的角宽度和分辨本领由光栅的参数决定。由于可以将衍射能量集中 在某一级上，而且多层膜具有强的反射率，故多层膜光栅的衍射效率很高。 第三章处理了多层膜闪耀光栅的特殊衍射性质。由于闪耀光栅的反射面(闪 耀面)不平行于光栅平面，而是相对于光栅平面有一夹角。由于这一特点，发现 可以通过调整控制多层膜闪耀光栅的各项设计参数，使得衍射光的绝大部分能量 都集中在j≠O的某一级谱线上。而此时满足Bragg条件的入射光，可以有一级 最大的衍射光谱，不满足Bragg条件的入射光，其衍射谱能量则低得多(比前者 低约3个数量级)。多层膜闪耀光栅可以用作软x射线单色器，而且比平面型的 多层膜层式光栅和晶体单色器有许多优良的特性。 第四章从多层膜和多层膜光栅的衍射特性出发，讨论了适用于软x射线波段 的组合式多层膜——多层膜光栅单色器的工作原理和色散性质。多层膜——多层 膜光栅组合式单色器中，两个色散元件应具有相同的多层膜周期，且两反射面之 间保持一定的夹角，该夹角取决与多层膜与光栅的周期之比，特别是是对于多层 膜闪耀光栅，该夹角等于闪耀角，则可以使多层膜光栅的衍射极大条件自动得到 满足，而且保证单色器出射的光束与入射光束平行。多层膜——多层膜光栅单色 器具有良好的反射率和分辨本领，可以将入射光中某一波长成分的大部分能量集 1 中在一个衍射级上。无论对于平行光束还是发散光束，都有很小的带宽融=三。 jh 选用的满足Bragg条件的多层膜闪耀光栅，应该尽可能具有较大的j值。／／√ 第五章首先介绍了多层膜光栅制备方面的进展状