《精密加工中的测量技术》.pdfVIP

精密和超精密加工技术 Precision and ultraprecision machining 精密加工的测量技术 1 本章 内容  精密测量技术概述  测量基准  直线度、平面度和垂直度的测量  角度和圆分度的测量  圆度和回转精度的测量  激光测量  自由曲面的测量 2 §1精密测量技术概述 一、精密测量技术的新发展  精密测量技术是机械工业发展的基础和先决条件之一。  精密测量是精密加工的重要组成部分，精密加工的精 度要依靠测量精度来保证，测量精度一般应比被测件 的精度要求高一个数量级。  目前在基础工业的某些领域，精密测量已成为不可分 割的重要组成部分。在电子工业、光学加工等部门， 精密测量技术也被提到从未有过的高度。例如超大规 模集成电路、大口径空间望远镜、激光武器反射镜等 的超精密加工中都需要精密测量技术的保证。 3 一、精密测量技术的新发展 尺子：mm级精度 游标卡尺：0.1mm级精度 千分尺：0.01mm级精度 4 一、精密测量技术的新发展 测微比较仪 1µm级精度 圆度仪 0. 1µm级精度 5 一、精密测量技术的新发展 激光干涉仪 0.01µm级精度 6 一、精密测量技术的新发展 近年来精密测量技术的新发展包括：  极高精度测量方法的测量仪器 ※ 长度测量：1 Å （0.1nm ）级精度的双频激光测量 系统和X射线干涉仪等； ※ 表面微观形貌测量：0.1nm级精度的扫描隧道显微 镜和原子力显微镜等； ※ 角度测量：0.01″精度的精密测角仪等。  精密在线自动测量技术 FMS柔性自动线上的三坐标测量机采用精密数控系统； 大批量生产中使用多种专用自动量仪，保证测量效率 和精度  测量数据的自动采集处理技术 计算机技术的应用；数显、数据处理、图形化输出等。 7 二、精密测量的环境条件  恒温条件：由于材料热膨胀现象的存在，恒温成为精 密测量的必要条件。  隔振条件：采用各种减振隔振措施，避免振动的影响；  气压、自重、运动加速度和其它环境条件：在极高精 度的测量要求下，气压、自重和运动加速度的变化都 会导致材料本身的尺寸发生微小变化，需要考虑。 8 三、量具和量仪材料的选择  根据材料线膨胀系数选择 当量具和量仪用于恒温的计量室或用于测量绝对长度 时，应选择线膨胀系数尽量小的材料制