直接驱动XY平台轮廓误差分析及法向交叉耦合控制.pdfVIP

第14卷第9期 电 机 与 控 制 学 报 V01．14No．9 2010年9月 ELECTRICMACHINESANDCONTROL Sep．2010 直接驱动XY平台轮廓误差分析及法向 交叉耦合控制 王丽梅， 武志涛， 孙宜标， 金抚颖 (沈阳工业大学电气工程学院，辽宁沈阳110178) 摘 要：在直线电机直接驱动XY平台中，负载扰动、机械延迟以及两轴驱动系统参数不匹配等因 素影响轮廓加工精度。采用H。速度反馈控制、零相位误差跟踪控制(ZPETC)与法向交叉耦合控 制相结合的策略对两轴的运动进行协调控制以提高轮廓加工精度，实现跟踪误差与轮廓误差的同 时减小。H。控制在速度环通过反馈作用消除负载扰动因素的影响，使系统具有较好的鲁棒性。 ZPETC基于零、极点对消和相位对消提高系统跟踪精度。法向交叉耦合控制作用于两轴之间，将 轮廓误差作为直接被控量进行实时补偿控制，有效地提高了轮廓精度并简化了控制器设计。仿真 结果表明，所设计的控制系统具有较好的跟踪性、鲁棒性和轮廓精度。 关键词：Xy平台；H。控制；零相位误差跟踪控制；轮廓误差；法向交叉耦合控制 中图分类号：TP273 文献标志码：A 文章编号：1007—449X(2010)09-0063—06 Contourerror andnormal analysis cross-coupled for drivexYtable controldirect WANG WU SUN JIN Li-mei， Zhi-tao， Yi—biao， Fu—ying ofElectrical of (School Enganeering，ShenyangUniversityTechnology，Shenyang110178，China) two will time and mismatchbetweenaxes affect Abstract：Loaddisturbance，mechanical delayparameter thecontour ofXYtable driventwo linear motors．The accuracy directly by permanentmagnetsynchronous contourcoordinationcontrol with feedback error control strategyH。velocity control，zerophase tracking normal is todecrease errorandcontourerrorfor control (ZPETC)andcross-coupledproposed tracking contour feedbackcontrolcan loaddisturbanceandobtain improvingaccuracy．H。velocity suppress can