测量光波导参数的漏模法：使用棱镜耦合器的新技术.pdfVIP

维普资讯 测量光波导参数的漏模法： 使用棱镜耦合器的新技术 李李丽丽娜娜 垒金锋 李李衅玉善 1一／∥：) (中国科学院长春物理理所所)) 7 ～ ‘ 由使用棱镜耦舍器的一种新技术即谓模怯。测量了平扳玻璃光诚导的参数 薄‘膜的折射率和厚 度)。测得的波导参数在测量误差范围内与用导模法测得的数据一致。谝模法和导摸法联用，提高 了光波导参数的测量精度．对于这两种方法的误差来源，在理论上作了分析和比较。 一 、 引 言 用棱镜耦台器测量光波导参数时，通常采用导模法…。在棱镜和薄膜间的耦合隙一般是 空气。当耦合隙较大并实现弱耦台时，测量导模的模折射率，并由导模的模方程确定光波导 参数。 近来，有人在测量薄膜参数时采用了漏模法。测量共振漏模的横折射率，并由共振漏摸 虹摸方程确定薄膜参数。但是，特测的低折射率薄膜沉积在棱镜底 或高折射率衬底上 ，。 所 以，这种漏模法不能用来测量光波导(在低折射率衬底上的高折射率薄膜)参数。 我们采用一种新的漏模法，测量了平板玻璃光波导参数。在耦台隙中，滴入折射率匹配 液，其折射率接近或等于棱镜折射率，并高于薄膜折射率。于是，原先的光波导变成祸波导， 测量其共振漏模的模折射率，并由共振漏模的模方程确定光波导参数。 二、平板漏波导 图1表示棱镜一薄膜耦台器的结构。其中，na，nz，n和n。分别为棱镜、耦合隙(匹配液)、 薄膜和衬底的折射率，b和d分射为耦合酵和薄膜的厚度，并假定nⅡnn。。 图】 棱镜一薄膜藕台器 收暮 日期I19舳年4月27日 维普资讯 当nz—na或者去掉棱镜时，三层介质n。、n。和n：构成平板满波导，如图2所示。其中，画 出考虑到Goo一Hanchen位移的锯齿光线漏模模型…。光波在0—1界面上垒反射，而在1— 2界面上折反射，并向半无限空间泄漏能量。2dt和zt分别为光波在薄膜中往返一次的横向和 纵向传播距离，df又称漏模的有教厚摩，e．为 质中光波的蕊矢量与界面法线的夹角。 图2 平板漏波导 光波在平板漏波导的薄膜中往返一次的横向相穆为 。：2Kld一2庐10—2庐E2， (1， 横 向共振条件 。=2m．r／(m=O，l，2，…)给出共振漏模的模方程 KId=m +庐l0+庐l2． (2) 在(1)和(2)式中，m为模阶数，K为i介质中的横向传播常数，一2ij为i—j界面上的反射相 移。k_和 j分别可写成 kl=n~kcosOt=(n；一N )／k， (3) rtan ／[(n~／nj) (Pi／K)]，垒反射 (4a) ~~i{／ 。 2(IjO)，折反射 (4b) 其中k=2肛和^分别为真空中的波数和波长，p_一(N 一n}) k为i介质中振幅的横向衰减常 数，N：nisfn日i=Ⅱsia0为模折射率，口=O和 1分别对