微驱动器的发展和的研究应用-ok.docVIP

江 西 理 工 大 学 南 昌 校 区 毕 业 设 计（论文） 题 目：微驱动器的发展和研究应用 系 ：机电工程系 专 业：机电一体化技术 班 级：08级机电三班 学 生：张小营 学 号指导教师：刘德生 职称：中级 摘 要 微电子机械系统 ( Micro Electro Mechanical Systems, 简称 MEMS ) 是在微电子技术的基础上兴起的一门应用技术, 微驱动器是 MEMS的重要组成部分。首先阐述了几种驱动原理：电磁驱动、静电驱动、压电驱动、形状记忆合金驱动、热驱动等及其当前研究成果，接下来介绍几种新型驱动：机械化学驱动、 渗透驱动、生物能源驱动、仿生驱动、光致伸缩驱动。总结了常用微驱动器的驱动方式及特征及其分类应用。概括了微驱动器的研究现状，提出了目前研究中存在的主要问题,在此基础上简要分析了微驱动器的发展前景。 关键词：微驱动器；微电子机械系统(MEMS)；驱动原理；驱动方式 ABSTRACT MEMS (Micro Electro Mechanical Systems, referred to as MEMS) technology in the microelectronics the rise of a based on the application of