子孔径拼接法检验大口径光学镜面精度分析.pdfVIP

第27 卷 第5 期 应用光学 V o l. 27, N o. 5 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 2006 年9 月 Jou rn a l o f A pp lied Op t ics Sep. , 2006 文章编号:(2006) 子孔径拼接法检验大口径光学镜面精度分析 1, 2 1 张明意 , 李新南 ( 1. 中国科学院国家天文台 南京天文光学技术研究所, 江苏 南京 2 10042; 2. 中国科学院研究生院, 北京 100049) 摘　要: 　介绍子孔径拼接检测大口径光学镜面的原理, 即用小口径的平面干涉仪检验大口径平 面的一部分, 通过改变2 者相对位置获得覆盖到整个被检验镜面的子孔径检测数据。提出利用最 小二乘法对相邻2 个子孔径重叠部分的检测数据进行计算来确定实际所有子孔径之间的位置关 系, 进而得到拼接而成的整体面形信息。并对子孔径拼接成的面型与实际面型的误差进行分析, 建 立了对子孔径拼接全口径波面恢复精度的评价指标。根据子孔径拼接原理完成了实验, 并对多组 子孔径数据拼接后的波面恢复精度进行了分析。实验证明, 子孔径拼接检测大口径光学元件综合 误差小, 重复精度高。 关键词: 　大口径光学平面; 子孔径拼接; 波面恢复; 面形误差; 精度分析 中图分类号: O 439　　　　　　文献标志码: A A ccuracy ana ly s is of st itch in g in terf erom etry - f or te st of large d iam eter m irror 1, 2 1 , ZHAN G M in g y i L I X in n an ( 1. N at ion a l A st ronom ica l O b servato r ie s N anj ing In st itu te o f A st ronom ica l , , 2 10042, ; Op t ics T echno logy Ch in e se A cadem y o f Scien ce s N anj ing Ch in a