《SG-DB R半导体激光器的光谱技术研究》.pdf

第34卷 ，第 7期 光 谱 学 与 光 谱 分 析 Vo1．34，No．7，pp1774—1779 2014年 7月 SpectroscopyandSpectralAnalysis July，2014 SG—DBR半导体激光器的光谱技术研究 邵 杰 ，韩叶星 ，郭 杰 ，王理明 ，韩 影 ，应朝福 ，王 尧 1．浙江师范大学信息光学研究所 ，浙江 金华 321004 2．环境保护部标准样品研究所 ，北京 100029 摘 要 可调谐半导体激光吸收光谱作为一种高灵敏度、高选择性、非侵入的痕量气体实时检测技术 ，已在 大气监测 、工业控制等方面得到广泛应用。采用一种新型宽带可调谐的SG-DBR半导体激光器 (可调谐范围 1520--1570rim)作光源，并通过自编程序对该激光器设定了18个通道，输出波长分别对应 CO，C02以及 Hz0的吸收谱线中心位置，设计和构建了一个基于近红外可调谐半导体激光吸收光谱的多组分气体光谱测 量系统，描述了相关的光学系统设置，结合波长调制(wm)的二次谐波技术测量其中14个通道(分别对应 CO和CO2的吸收谱线)的吸收光谱，系统获得的CO和C02峰值吸收探测极限能够达到 1O一。实验结果验 证了SG-DBR激光器在波长调制吸收光谱多组分气体检测领域的可行性 。在实际应用过程中使用单个 SG- DBR激光器可以实现多组分气体的同时测量，有效降低设备成本和系统复杂性。 关键词 TDLAS；波长调制；SG-DBR 二次谐波检测 中图分类号：0433．1；TN248．4 文献标识码 ：A DOI：10．3964／j．issn．1000—0593(2014)07—1774—06 度调谐改变波长的速度缓慢，需要几秒的调谐稳定时间。 引 言 如 ：分布反馈激光器 (DFB)和垂直腔面发射激光器 (VC— SEL)，虽然可以通过调谐温度来达到宽调谐 目的，但是不适 近年来，随着城市工业的发展，大气污染 日益严重，空 合快速波长调制提高探测极限[7]。电流控制技术则是通过改 气质量进一步恶化，环境污染加剧，大气成分的监测为改善 变注入电流实现波长的调谐。如DFB，其内部载流子密度随 空气环境质量提供重要依据。大气监测手段也多种多样 ，其 电流增加而增加 ，电流直接影响DFB的输出波长。通过电流 中可调谐半导体激光吸收光谱 (tunablediodelaserabsorption 控制调谐波长时，调谐速度快，与波长调制、频率调制技术 spectroscopy，TDLAS)技术以特有的优势在大气监测方面得 相结合有效地提高 了探测极限；但是调谐范围窄 (～1．5 到广泛应用l1]。结合波长调制 (wavelengthmodulation)可以 cm_1)，适用于单个成分的探测，对于多组分监测则需多个 有效抑制 1／f噪声，探测最小吸收可达 1O ～1O～，使得 激光器共同工作 ，增加了设备的复杂性和成本 [8]。 wm-TDLAS技术成为大气痕量气体的实时、快速、在线监测 随着半导体激光器的快速发展，一种新的基于电流控制 的有效方法之一L2J。 的可调谐激光 器采用 SG-DBR(sampledgratingdistributed 可调谐半导体激光器是 TDLAS技术的核心部件 ，实现 braggreflector)结构l1，可调谐范 围能够达到 40～100 nm [“j 波长调谐的技术主要分为：机械控制、温度控制和电流控制 。 如图l所示，SC~DBR激光器由五部分组成，半导体 等类型。其中