光子束超衍射纳米加工技术和应用基础研究.docVIP

项目名称： 光子束超衍射纳米加工技术与应用基础研究 段宣明 中国科学院理化技术研究所 2010年1月-2014年8月 中国科学院  （2）光子束超衍射纳米加工的极限分辨率与精度控制问题 光子束超衍射纳米加工的物理与化学极限，其实质是解决“弱束缚微区内发生的高度非平衡反应的尺寸控制”这一科学问题，是实现光子束超衍射纳米加工的极限分辨能力与精度的关键所在。本项目将通过光与材料相互作用的非线性机理与阈值效应、激光参数与材料特性对加工精度的影响、加工精度与几何形貌的控制机理等研究，解决上述科学问题，挑战光子束超衍射纳米加工的加工分辨率极限与加工精度。 （3）功能纳米结构制备原理、特性及相关基本科学问题 进行结构、材料与表面功能化设计，明确功能纳米结构制备原理，发展相应的制备工艺，阐明功能纳米结构与特性之间的关系是利用光子束超衍射纳米加工技术实现功能纳米结构制备与应用需要解决的关键科学问题。本项目拟通过设计、制备不同材料的二维、三维纳米结构以实现结构功能化，实现半导体、金属及无机功能材料的纳米结构制备；采用在加工材料中进行功能分子与纳米材料掺杂等方法解决材料功能化问题；通过表面修饰等方法在二维、三维纳米结构表面实现功能分子与纳米材料的组装以解决纳米结构的表面功能化问题。 （4）基于光子束超衍射纳米加工的器件制备工艺创新与应用探索 要利用光子束超衍射纳米加工技术实现器件制备