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中国石油大学硕士研究生学位论文 (申请工学硕士学位) 基于MEMS地震仪的 天然地震信号采集系统的开发 学科专业：信号与信息处理 培养方向：信号的检测与处理 The Development of Seismic Signals Acquisition System Based on MEMS Seismometer Thesis Submitted to China University of Petroleum in partial fulfillment of the requirement for the degree of Master of Science Engineering by MA Qiu-fang (Signal and Information Processing) Tutor:Professor MA Xi-geng Professor ZHOU Yao-qi April,2007 基于MEMS地震仪的天然地震信号采集系统的开发 检测和分析地震信号可以帮助人类认识地球构造，预测地震自然灾害。由于地震信号的频率很低且能量非常微弱，所以难以准确检测，因此有必要设计一款高性能的地震信号采集系统。 本文针对传统地震仪体积大、频带窄的缺点，提出了基于MEMS技术的三分量地震仪的设计方案。使用低频响应好、灵敏度高的MEMS加速度传感芯片1221x-002