纳米金刚石半导体薄膜传感器的研究与模拟设计.docVIP

北方民族大学 学士学位论文 论文题目: 纳米金刚石半导体薄膜传感器的研究与模拟 摘 要 金刚石具有很强的抗辐射、耐腐蚀性能，是能在高温下使用的新型宽能带隙半导体材料，被誉为发展前景十分广阔的第三代半导体材料。因此，金刚石薄膜可制成耐热、耐冲击、耐腐蚀、抗辐射、灵敏度高的压力传感器件。 本论文根据市场对场致发射材料的需求，在纳米金刚石粉体中掺入纳米石墨粉体制成纳米金刚石浆料，纳米金刚石作为微尖，引入石墨作为导电晶界。用纳米金刚石作为发射体，纳米石墨作为导电媒质，印刷制备场发射薄膜。为印刷制备大面积的，具有稳定均匀的场发射性能的纳米金刚石薄膜，研究纳米金刚石材料超声分散和机械分散方法及浆料的配制新工艺，实验得出浆料中纳米石墨、纳米金刚石、乙基纤维素最佳配比，使纳米金刚石微尖密度合理、分布均匀。为了既能使薄膜表的制浆剂能充分挥发暴露出纳米金刚石微尖，又能使纳米金刚石薄膜牢固地粘结在衬底上，研究了纳米金刚石薄膜的烧结工艺，其最高温度为多少效果最好，建立纳米金刚石薄膜场致发射模型，测试分析了纳米金刚石薄膜的场致发射特性。利用纳米金刚石薄膜的场致发射特性设计了一个压力传感器，并用MATLAB模拟分析纳米金刚石薄膜压力传感器的工作原理。 关键词：纳米金刚石，薄膜，场致发射，压力传感器 ABSTRACT The diamond has strong resist radiation,