《基于应力处理的温度补偿石英晶体振荡器》.pdfVIP

第35卷 第7期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．35No．7 2014年7月 ChineseJournalofScientificInstrument Ju1．2014 基于应力处理的温度补偿石英晶体振荡器 术 白丽娜 ，周 渭，李婉莹，张 莹，陈鸿杰 (西安电子科技大学机 电工程学院 西安 710071) 摘 要：目前几乎所有的温度补偿晶体振荡器都通过补偿电路来完成补偿，而且采用的是基频晶体。通过长期对石英晶体不 同的物理特征相结合的研究，如其频率温度特性和频率应力特性结合，发现通过随温度变化产生的应力来补偿温度本身对晶体 频率的影响往往会取得更好的效果。大量实验证明通过应力处理，泛音晶体的频率温度特性得到明显的改善。使用这种方式， 晶体振荡器显示了良好的频率温度特性和短期稳定度，并兼有低功耗、低成本、低相位噪声等优点。振荡器的频率温度稳定度 从 一30 到+85℃的波动范围已经可以达到 ±(1～2)×10～。再通过简单的补偿 电路会得到 ±0．5×10 的频率一温度稳定 度。对泛音晶体电极采用双层镀膜的方法 ，使用2种金属镀膜电极产生合适的应力。这相当于是一个双金属温度传感器，当温 度改变时，传感器会发生相应的形变，从而该电极可以将应力加于晶体片。这里选择的泛音晶体 比基频晶体在稳定度和老化方 面要更好一些，而且拥有更高的频率-应力灵敏度。 关键词：温度补偿石英晶体振荡器 (TCXO)；应力处理；频率．温度特性 中图分类号：TH714．5 文献标识码：A 国家标准学科分类代码 ：590．30 StressprocessingbasedTCXO BaiLina，ZhouWei，LiWanying，ZhangYing，ChenHongjie (SchoolofMechano—ElectronicEngineering，XidianUniversity，Xi’an oD ，China) Abstract：Currently，almostalltemperaturecompensatedcrystaloscillatorsarecompensatedusingcompensationcircuitandraebasedon fundamentalfrequencycrysta1．Throughlong-term researchonthecombinationofdifferentphysical characteristicsofquartzcrystal，such asthecombinationoffrequency—temperaturecharacteristicandfrequency—stresscharacteristic，wefoundthatusingthegeneratedstress varyingwithtemperaturetocompensatefortheeffectoftemperatureoncrystal frequencytendstogetbetterresult．A largeamountofex— perimentsprovethatwithstressprocessing，thefrequency-temperatureperfomr anceofovertonecrystalscanbeimprovedobviously．In thisway，thecrystaloscillatorsexhibitbetterfrequency-temperatureperfomr anceandshorttemr stability，andalsopossesstheadvantages oflowerpowerconsumption，lowercost，lowerphasenoise，andetc．Thefrequency-temperaturestabilityoftheoscillatorsisimprovedto ±1～2×10一 inthetemperaturevariati