光电式锥螺纹参自动测量系统的研究.pdfVIP

摘要 照着半导体工业善韪徽电子援术酶飞速发震，光电捡测技术已成为光学与 电子学相结合丽产生的一门新兴检测技术。采用电赫稷含器件(CCD)采爨图 像，利用阁像处理技术获得被测参数的现代化光电式测量方法已经被广泛地 皮鬟予蕃静检测领域。近年来，溯量过程雯是呈现出自动纯、高精度、智能 化的趋势。 本文设计了一种新型光电式锥螺纹参数测量系统，综台比较常用的锥螺 绞中径溅餐方法，鬣终采蠲“三钎法”作为测量的基本方法，进而研究开发 了应用于本系统的“图像坐标三针法”原理。遗过对疆秘捉槐方案愆比较， 最终确定了竖放锥体进行测餐的方案。根据系统的测量精度要求，管重阐述 了系统各个主鬃部分的功能和设计方案，构建了系统的]二作流程。 设计系统搬城构架，透过对重要变形部件一～立柱释上瑗尖支架进行有 限元分析，并结合各项误差的分析计算，改进设计结果，使关键部件的刚度 德满足了系统懿体设计要求。问时通过全面的误差核算，保证了系统整体误 蒺滤是设诗要求。 对锥螺纹检测过程采用的图像预处理、边缘检测和边缘拟合的器秘算法 进行了比较，确定了合适的图像处理算法。酋先采用中值滤波器对图像进行 孛露步滤波，然焉采蹙Canny簿子提取牙墅边缘，通过Hough变换初步滤除 方差较大的边缘点，最后采lE}4最小二乘法，进一步滤除局终点的影卿，拟合 m边缘直线方程。根据上述算法组合，编制图像处理程序，得剖所测螺纹参 数，著开发了人梳交互豁操作葬面。 最后揆建试验平台模拙实际测_曩，验证了“图像挺标三针法”实现豹可 能性和图像处理软件的可行性。 关键蠲光电捻测；三钳法；锥螺纹中径；误差棱算；露像楚疆 ：：一：：…=垒堑聂些兰三鲨篓些圣：==：：一一：!一 Abstract the With in semiconductorandthe development industry rapid microelectronics measurementhas photoelect“city technology，the technology anovel with and become CCDto technologycombining electronics．Using optics the the tOobtain acquireimages，usingimage technology processing required been modern measurementhas parameters，thephotoelectricitymethod widely inalmostall of kinds becomemore applied has fields．Especially，thistechnology