偏振光位移传感及其绝对位移检测方法研究.pdfVIP

摘 要 位移传感器在科学与工业技术领域应用广泛，是重要的测量部件。本文提出 了一种基于偏振光检测的位移测量原理，并基于浚原理，完成了机械、光学、电 路等各部分的设计，研制了实验室样机 并进行了测试。论文主要包括以下几个 部分： 第一章绪论介绍了课题的相关背景 包括常用位移传感器的简介，人量程位 移传感器的发展和应用。 第二章分析了基于偏振光的位移测量方法的基本理论。包括光的偏振理论分 析，光的偏振态表示及马吕斯定理分析，以及电光调制原理。 第i章详细介绍了伺服比较式偏振光位移传感器。包括伺服比较式位移检测 原理、组成部件的选择及介绍、传感器的硬件系统、软件系统等。该方案已经制 作完成了样机，并进行了测试，测试结果将在第五章详细介绍。 第四章介绍了基于伺服比较方案的绝对位移测量方案。基于倒服比较式位移 传感器的自身的特点，和另外附加的一套用于确定周期位置的装置，实现了大量 程的绝对位移测量。另外，还介绍了通过位移一时间转换进行位移测量的方法， 该方案可实现全光型位移传感器，具有极强的抗干扰能力和较高的梢读，具有』“ 阔的前景。 第五章详细叙述了伺服比较式位移传感器样机的测试结果，给卅了实验数 据，并进行了分析。介绍了传感器现场运行测试的情况，实验表明，传感器样机 具有町达40米的量程、和较高精度以及较好的可靠性。另外还介绍了绝对位移 测量实验的结果。 最后(第六章)，对全文进行了总结和展望。总结了主要研究成果和将来需 要努力的方向。 本项目得到国家自然科学基金，863计划，浙江省自然科学基金资助。 关键词：位移传感器偏振光伺服比较DSP绝对位移测量 ABSTRACT sensorsare instrumentand usedin very Displacement importantmeasuring widely novel various andindustrialfields．A technologic measuring displacementprinciple detectionis inthisdissertation．Basedonthis usingpolarizedlight presented principle the and of electricalis a designmechanical，opticalpartsaccomplished，and prototype is sensor testonthissensorisdone．Thisthesisisdividedinto produced．Finally,the the followingparts： 1 introduces theresearch someintroductionsonsome Chapter backgroundincluding of kinds sensors，the and of displacement developmentapplicationwide—range sensors． displacement 2