纳米薄膜在交变载荷作用下屈曲行为的实验的研究.pdf

摘要 由于薄膜元件及结构被广泛应用于各类工程系统，薄膜屈曲研究对于优化 MEMS器件的设计等及改善他们的寿命和可靠性非常重要，在静载荷下薄膜屈曲 的理论和实验的研究已作出了不少成果，但是实际使用时薄膜器件与薄膜一基 底结构大多是工作在动态加载的情况下，静载荷下的屈曲理论对于动态负载工作 时应用有所限制。随着薄膜器件在重复的动态负载和疲劳载荷使用下的情形越来 越多，膜基结构的疲劳寿命成为受到广为关注的一个重要课题，其中，研究疲劳 载荷下的薄膜的屈曲又是特别重要的。 在本论文中，完成了关于对疲劳载荷下的薄膜屈曲的实验。实验中，基于压 电陶瓷，通过整合力一位移测量系统的疲劳加载装置对沉积在PMMA基底的金属薄 膜进行疲劳性载荷的加载，并通过光学显微镜记录了直线屈曲的扩展过程，加载 周期控制在105～106次。薄膜中累积的屈曲和扩展的过程是由CCD相机拍摄和记 录。通过使用数字图像相关测量方法，对不同时序图像进行分析，得出屈曲的扩 展变化。通过若干组对照试验，我们分析了如膜的厚度，周期时间，膜的材料和 屈曲等参数之问的关系。这项工作主要对在疲劳载荷下薄膜屈曲的扩展问题进行 了一些初步研究，随着更多和更好的实验，对薄膜屈曲的研究可能进行的会更加 深入。 关键词：薄膜疲劳屈曲