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薄膜的结构和缺陷——薄膜的缺陷 薄膜的结构和缺陷——薄膜的缺陷 层错缺陷 薄膜的结构和缺陷——薄膜的缺陷 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 ★ 薄膜结构与组分的分析方法 表面分析技术是人们为了获取表面的物理、化学等方面的信息而采用的一些实验方法和手段。 Sample Excitation source Signal Detector Event 薄膜微观结构： （1）薄膜表面和横断面的形貌。 （2）薄膜内部的结晶构造。 入射电子 Auger电子 阴极发光 背散射电子 二次电子 X射线 样　　品 透射电子 入射电子与样品相互作用后，使样品原子较外层电子（价带或导带电子）电离产生的电子，称二次电子。 各种信息的作用深度 从图中可以看出，俄歇电子的穿透深度最小，一般穿透深度小于1nm，二次电子小于10nm。 扫描电子显微镜（ Scanning Electron Microscope（ SEM））分析 它是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。 扫描电镜的主要结构： 　　主要包括有电子光学系统、扫描系统、信号检测放大系统、图象显示和记录系统、电源和真空系统等。 扫描电镜成像示意图 形貌衬度原理 薄膜的结构和缺陷—薄膜结构与组分的分析方法 X-射线光电子能谱 XPS: X-ra