双次级永磁同步直线电机定位力的研究和抑制.pdfVIP

II III IIII IIIIIIIIIIIIIIILMHI 摘要 摘要 永磁同步直线电机(PMSLM)，特别是具有双次级结构的PMSLM凭借其高速度、 高精确度、大推力、零法向吸力等诸多优点，被广泛地应用到超精密机床的伺服 系统，推动了生产制造等技术的不断发展，受到了国内外许多专家学者的高度重 视。然而，由齿槽效应和边端效应所引起的定位力是影响超精密机床定位精度及 运动精度的重要因素，定位力的存在制约了PMSLM的发展。因此，本文将双次级 结构的PMSLM作为研究对象，从电机的本体结构入手，对PMSLM的定位力进行了 分析，并对定位力的抑制方法进行了研究，主要研究内容如下： 首先，分析了PMSLM的基本结构及工作原理，采用磁路计算法与能量法相结 合的方法对电机的定位力进行了解析分析，得到了PMSLM定位力的解析表达式。 同时，基于有限元分析方法，建立了双次级结构PMSLM的