《01微电子工艺基础绪论.》.pdfVIP

微电子工艺基础 王静 Wangjing 0631-5683346 微电子工业基础 一 概述 1. 1.为什么要学这门课？ 2.这门课的对主要对象？ 3.本课程的主要内容 4.第1章 绪论 微电子工艺基础 1.为什么要学这门课？  微电子技术的发展不外乎包括两个方面：制造工艺和电路 设计,而这两个又是相辅相成,互相促进,共同发展。 微电子技术的发展与进步，主要是靠工艺技术的不断改进， 使得器件的特征尺寸不断缩小，从而集成度不断提高，功耗 降低，器件性能得到提高。芯片制造工艺在1995年以后，从 0.5微米、0.35微米、0.25微米、0.18微米、0.15微米、0.13 微米、0.11微米、0.09