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摘要
本论文以原位合成石墨烯为目标牵引,重点探索低温制备高品质石墨烯的原
理和方法。首次采用六氯苯为碳源,分别在铜箔、硅片、二氧化硅等基底上采用
化学气相沉积法制各石墨烯,通过设计实验过程和优化实验条件成功制备了单层
和多层石墨烯,并对石墨烯的制备原理和石墨烯层数控制进行了初步研究,主要
研究结果和创新点如下:
l、首次采用铜催化六氯苯脱氯在铜箔表面制备单层石墨烯。在单层石墨烯
制备过程中,铜箔不仅作为石墨烯的沉积基底,同时还发挥了促进六氯苯脱氯的
催化作用,实现了在360C的较低温度下单层石墨烯的制备。
2、通过热解六氯苯在硅片、二氧化硅、铜箔基底上原位沉积了多层石墨烯。
因为采用了新型的碳源六氯苯,降低了沉积温度。
3、通过对石墨烯低温制各机理的研究,发现Cu对六氯苯脱氯的催化作用
在石墨烯低温制备过程中起到决定性作用。由于Cu的存在不仅大大降低六氯苯
的脱氯温度,同时还提高了六氯苯脱氯的效率和完全性,因而可以在相对较低的
温度下在铜箔上沉积单层石墨烯。
4、通过对温度的调制,在铜箔表面可以调控合成石墨烯的层数。在六氯苯
无催化剂热解脱氯温度400℃以下,可以在铜箔表面得到单层石墨烯。随着提
高沉积温度,分别在460℃和560℃得到双层和多层石墨烯。
本论文的研究结果为低温制备石墨烯提供了新的原理和方法,并为石墨烯层
数可控制备提供了新途径。
关键词:石墨烯低温制备高品质应用
Abstmet
ABSTRACT
FocusOninsitu in
thethes
ing synthesisofgrapheneis,bw-temperaturesynthetic
of and
methods theirmechanismhavebeen
graphcm
high-qualified explored
wasusedthe
as carbonsourceof
comprehensively.Hcxachloroben踅ne for
graphene
thefwst foilsand as
siliconsliceswere thesubstratesforthe
time.Copper cmpbyed
of inchemical
growthgraphcne vapor
modificationof
CVD and and
procedureexperimentalparameters,mo
no—hyer
filmswere
mutli-layergraphenc successfully
mechanismoftheformatbn and
the ofthe numberof
ofgraphenecontrollabilityhy
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