扫描微镜的设计模拟.pdfVIP

摘 要 随着微机械技术的发展，人们开始研究采用扫描微镜振动扫描的方式实现 图像信号的传递。这种以微机械电子技术为基础的成像技术克服了传统的机械 分列式扫描装置的体积庞大、重量大、控制系统复杂等许多缺点。大量的研究 表明：MEMS为几千赫兹振动频率下的光学扫描提供了一种可能的技术并且扫 描微镜的机械和光学性能与加工流程无关。MEMS微镜和传统扫描镜一样，它 们都应受到机械和光学的基本约束条件约束的，但这些基本的约束条件并未得 到广泛的关注。本文讨论了扫描镜设计中的基本约束条件，主要着眼于由于机 械性能(微镜的平面度和动态变形)与光学性能(光束的发散和光学分辨率) 问的交互作用。共振扫描镜的性能指标与微镜的几何尺寸、所要达到的光学分 辨率、材料性质和机械共振频率有关。扫描微镜的光学分辨率与微镜的长度成 正比，因此越长的微镜可以得到越高的扫描分辨率。然而，在角加速度影响下 的扫描微镜将会产生动态变形，其动态变形量是长度的五次方关系。因此，设 计微镜必须平衡其最大的共振频率和受衍射限制的光学分辨率。 当前，人们对微电子机械系统的研究正处于从微器件试制向微系统产品开 发的转变。常规的微机电系统的开发方式不仅浪费了大量的人力物力而且延长 了产品进入市场的周期，因此很有必要在设计