喷雾热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及性能的研究.pdfVIP

喷雾热解法制备氟掺杂二氧化锡导电薄膜及其性能研究 摘 要 tin 氟掺杂二氧化锡导电薄膜(fluorine．dopedoxide，FTO)因具有高透光率和 低电阻被广泛用于太阳能电池和显示设备。采用喷雾热解法，以四氯化锡和氟 trifluoroacetate， 化铵、1．甲基一3．乙基咪唑三氟乙酸(3．ethyl．1．methylimidazolium EMITA)为原料、水和乙醇、异丙醇为溶剂，喷瓶为雾化装置，在载玻片上制备 FTO薄膜。运用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外一可见分光光度计和四 探针测试仪分别对FTO薄膜进行了表征。研究了喷涂次数、衬底温度、四氯化 锡浓度、氟化铵(EMITA)浓度、双氧水浓度和乙醇(异丙醇)与水的体积比对 FTO薄膜的透光率和方块电阻的影响。 mol／L， mol／L，NH4F浓度为0．1 当衬底温度为500℃，SnCl4浓度为0。81 乙醇与水的体积比为8：2，喷涂100次时，所得FTO薄膜在可见光区的平均透 Q／口。 光率为76％，方块电阻为13 在喷雾热解液中加入少量的H202(0．05tool／L)可明显提高FTO薄膜在可见 mol／L 光区的透光率，而不影响其方块电阻；当喷雾热解液组成为O．8 SnCl4， O．1mol／L mol／L NH4F，0．05H202，异丙醇与水的体积比为8：2，衬底温度为500 ℃，喷涂100次时，所得FTO薄膜在可见光区的平均透光率为84％，方块电阻 为15Q／口，且FTO薄膜平整致密、二氧化锡晶粒均匀。 mol／L， 当衬底温度为500℃，SnCl4浓度为0．4mol／L，EMITA浓度为O．3 乙醇与水的体积比为8：2，喷涂100次时，所得FTO薄膜在可见光区的平均透 Q／口。 光率为73％，方块电阻为173 关键词：喷雾热解；氟掺杂二氧化锡；导电薄膜；溶液组成；1一甲基一3一乙基咪 唑三氟乙酸 andCharacterization Preparation of TinDioxideConductiveThinFilms Depositedby SprayPyrolysis ABSTRACT thin conductivefilmsof tin Transparent F：Sn02(fluorine—dopeddioxide，FTO) with transmittanceandlowelectrical are elementsfor key highoptical resistivity thin—filmsolarcellsand were on devices．FTO