mnolt;2gt;掺杂zno气敏传感器阵列的制备与性能研究.pdf

摘 要 金属氧化物（MOX ）气敏传感器在当前气敏传感器研究和应用中占有主导地 位。由于目前器件制作工艺水平不高，器件往往无法充分发挥金属氧化物纳米材 料的优异性能。如何有效地将材料微结构控制方法与器件制作工艺相结合，是充 分展现金属氧化物纳米结构优越性能的关键与难点。 本文基于实验室成熟的丝网印刷工艺和 ZnO 纳米结构调控的经验，将材料微 结构调控方法与器件制作工艺有机结合，通过丝网印刷实现空间定位，采用溶液 生长处理工艺在 ZnO 厚膜表面诱导生长特殊的 ZnO 纳米结构，成功地制备出对甲 醛、苯等室内污染气体敏感性能良好的 MnO2 掺杂 ZnO 纳米结构平板共面型气敏 传感器阵列。 为降低传感器功耗，简化器件制作工艺流程，设计了一种新型传感器封装结 构——平板共面式，对比分析管状悬挂式、平板贴片式和平板共面式三种传感器 结构发现，平板共面式最优，功耗最小。深入研究了不同粘结材料对平板共面式 器件的功耗和热响应特性的影响，研究表明，传感器功耗高的关键问题之一在于 加热器热量的大量丧失，采用 0.3%矿渣微粉和水玻璃组合封装器件能有效降低功 耗，工作温度为 320℃时，其单一阵列功耗仅为 0.37W 。 MnO2 掺杂 ZnO 厚膜经溶液生长处理获得了比表面积更大的纳米墙、花瓣、纳 米线团簇等 ZnO 纳米结构，他们的存在能有效地提高传感器对甲醛的敏感性能。 实验研究表明，ZnO 厚膜在 0.01mol/L 生长液中 95℃生长处理 5h 对甲醛敏感性能 最佳。经该工艺处理的 ZnO 厚膜元件相比只经蒸馏水处理 ZnO 厚膜元件，对甲醛 及苯的敏感度均提高了近一倍。 此外，研究膜厚、溶液处理工艺、烧结温度、掺杂MnO2对传感器稳定性的影 响。与单层元件相比，双层元件电阻的波动较弱，表现出较好的稳定性。650℃和 800℃烧结工艺下制备器件的电阻随时间的变化幅度相对较小。热冲击稳定性测试 与短期重复性测试结果表明，MnO2 的掺入有利于改善传感器的耐热冲击性能；经 I 过溶液生长处理的传感器整体稳定性得到改善，电阻明显降低。 关键词：平板共面型气敏传感器；阵列；丝网印刷工艺；纳米结构调控；低功耗； 气敏性能；稳定性 II Abstract Metal Oxide (MOX) gas sensors have occupied a dominant position in the current research and application of gas sensors. As a result of the present low level of device manufacturing process, the outstanding performance of ZnO nano-materials can not show sufficiently through the device. How to effectively combine the namo-structure regulation method with device manufacturing process is the key and difficult points. Based on the mature screen printed technology and control experience of ZnO nano-structure in the NSSRL, The ZnO nano-structures in the thick film of ZnO were induced using solution growth process under hydrothermal condition. In this way, the plate-type coplanar gas sensor arrays of MnO2 doped ZnO with Nano-structure wit