新型大流量激光子计数器的研制.pdfVIP

硕士论文 国产大流量激光粒子计数器的设计 摘 要 光散射式粒子计数器是测量洁净室洁净度时常用的检测仪器，它能够测量空气中 不同粒径的粒子数目，而且能依据相关标准中的规定，由测得的粒子数目计算出洁净 室的洁净度。现今国外的粒子计数器已普遍具备了智能化的操作系统、友善的人机界 面和高灵敏度、大流量等特点，处理计数结果时均采用最新的国际标准，并朝着在线 化和网络化的方向发展。而传统的国产粒子计数器灵敏度低、气泵流量小、并采用 LCD与键盘分离式，甚至采用LED式的人机交互系统，用户操作困难，并且处理计 数结果时采用的标准版本过旧，已不能适应当前最新标准的要求和国内各行业的需 要。 本文讨论了最新标准IS014644中关于洁净度的定义和划分以及测量的方法，确 定了光散射式粒子计数器的工作原理，分析了传感器输出电脉冲信号的特性，设计了 包括信号幅度鉴别系统、数值处理系统、人机交互系统和操作系统的新型大流量粒子 计数器。采用异倍放大和滤噪的方法提高了小粒径粒子信号的信噪比，解决了由于不 同粒径粒子产生的电脉冲信号幅度差别过大而导致的漏计问题；设计了高速施密特比 较器电路和用V砷og阳DL实现的计数信号处理电路，并适当选取了施密特电路的迟 滞电压容限值，完全消除了由于电脉冲信号的高频噪声引起的余计和错计的现象，使 粒子计数器有更高的准确度；选用删微控制器和点触屏LCM实现人机交互系统， 由于删微控制器硬件资源丰富，工作频率高，使得粒子计数器的人机界面更友善； 设计了包括了参数设置、粒子测量、数据读取和数据观察等功能的操作系统，功能更 强大；制造了试验样机，该样机使用最新国际标准IS014644计算洁净室洁净度，气 泵流量为50I／min，可以更好地提高计数器的测量效率。通过与国外进口仪器 LASERjⅡ的对比试验，我们证实了新型大流量粒子计数器的性能稳定可靠、功能完 善，具有很高的实用价值，缩小了国内外粒子计数器的差距。 关键词：粒子计数器，信号处理，触摸屏式交互系统，人机界面 Abstr{lct 硕士论文 Abstract kmdof uSedi11 PanicleCou工】【terisa monitor mea． equi】)mem Light-Sca=ct丽ng 1姗ally thecleaIllmessofclean．rooms．Itcan outt11emmlberof indi丘．erent suriIlg figure panicles canals0workout也ecleaIllinessofcle扑rOoⅡ峪Viat11e di锄eters，it nlatallofnlemhaveintelle曲laIized niscol衄onfor c0皿er overseas’p枷cle opcl船痂19 of man-姒c‰缸erf如and出araCteristicnow． sys钯屿伍锄dly MgllserIsm毋加dkge are ontIle to witll home-